发明名称 CHIP POSITION DETECTING EQUIPMENT AND CHIP FEEDING METHOD IN DIE-BONDER
摘要
申请公布号 JPH01140633(A) 申请公布日期 1989.06.01
申请号 JP19870297456 申请日期 1987.11.27
申请人 TOKYO SOKUHAN KK 发明人 TERAJIMA HIROSHI
分类号 G01B11/00;H01L21/52;H01L21/66 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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