摘要 |
On forme sur un film diélectrique trois couches de métal superposées et d'épaisseurs différentes, la première étant une couche très mince d'argent, de cuivre ou leurs alliages, la seconde étant une couche de zinc pourvue d'une armature, et la troisième étant une couche d'aluminium ou d'alliage d'aluminium comprenant un pourcentage de titane, de silicium ou de cadmium inférieur à 1 %. On obtient ces couches par dépôt de vapeurs métalliques dans une chambre à une pression de l'ordre de 10-4 torr. L'appareil comprend une chambre à vide (10) divisée en deux sections (11 et 12), la section 11 étant une zone de transit du film, tandis que dans la section 12 sont prévus des dispositifs d'évaporation séparés pour les trois métaux. En particulier, il est prévu une barre résistive pour faire fondre l'argent, le cuivre ou leurs alliages, un four à radiation pour le zinc et une barre cylindrique chauffée pour l'aluminium ou les alliages d'aluminium. |