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发明名称
摘要
申请公布号 JP2834136(B2) 申请公布日期 1998.12.09
申请号 JP19880102508 申请日期 1988.04.27
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 SAKAIRI MINORU;KANBARA HIDEKI
分类号 G01N27/62;G01N30/30;G01N30/72;H01J49/04;H01J49/10;H01J49/26;(IPC1-7):H01J49/10 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
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