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发明名称 MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01127674(A) 申请公布日期 1989.05.19
申请号 JP19870284520 申请日期 1987.11.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KODERA KOICHI;OTA TAKEO
分类号 C23C14/36;C23C14/35 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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