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发明名称 SILICON WAFERS FOR INTEGRATED CIRCUIT CHIP FABRICATION
摘要
申请公布号 EP0137914(A3) 申请公布日期 1989.03.08
申请号 EP19840107432 申请日期 1984.06.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CASE, STEPHEN WILLIAM;MENDEL, ERIC;PAK, MUN SOK;PATZNER, EUGENE JOSEPH;WILSON, LEON GARDNER, JR.
分类号 H01L21/02;H01L21/208;H01L21/322;H01L21/33;H01L21/331;H01L29/02;H01L29/70;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/322;H01L21/324 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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