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发明名称 Sputtered titanium oxynitride films.
摘要 <p>A titanium oxynitride film, method for its production, and coated articles comprising titanium oxynitride in combination with other metal-containing films are disclosed.</p>
申请公布号 EP0283923(A1) 申请公布日期 1988.09.28
申请号 EP19880104212 申请日期 1988.03.17
申请人 PPG INDUSTRIES, INC. 发明人 GILLERY, FRANK HOWARD
分类号 C23C4/10;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/34;(IPC1-7):C23C16/30;B32B15/00;C03C17/36 主分类号 C23C4/10
代理机构 代理人
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