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发明名称 PROCESS TO OBTAIN THIN FILM LINES
摘要
申请公布号 EP0200237(A3) 申请公布日期 1988.09.07
申请号 EP19860200415 申请日期 1986.03.17
申请人 SIEMENS TELECOMUNICAZIONI S.P.A. 发明人 FERRARIS, GIAMPIERO;TERSALVI, ANTONIO
分类号 H01L21/30;G03F7/023;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/48;H05K1/03;H05K3/00;H05K3/10;H05K3/24;H05K3/38;(IPC1-7):H01L21/48 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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