发明名称 POSITIONING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0183125(A3) 申请公布日期 1988.08.10
申请号 EP19850114350 申请日期 1985.11.12
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BEUMER, KARL WILLI;GASTON, CHARLES ARDEN;MACK, ALFRED;O'NEILL, BRIAN COLLINS;PINCKNEY, WARREN JOHN;LOCKE, CHARLES HENRY;WILSON, ALAN DICKSON
分类号 H01L21/30;H01J37/20;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):H05K13/02 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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