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发明名称 FREMGANGSMAADE TIL FREMSTILLING AF HOEJRENE HALVLEDERMATERIALER OG RENE METALLER
摘要
申请公布号 DK152385(C) 申请公布日期 1988.08.01
申请号 DK19780005072 申请日期 1978.11.15
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCAHFT FUER ELEKTRONIC-GRUNDSTOFFE 发明人 BEHENSKY, GERHARD;WALDINGER, JOSEF
分类号 C30B25/10;B01J19/00;C01B31/36;C01B33/035;C23C16/24;C23C16/46;C30B25/16;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/00 主分类号 C30B25/10
代理机构 代理人
主权项
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