| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6367728(A) |
申请公布日期 |
1988.03.26 |
| 申请号 |
JP19870171361 |
申请日期 |
1987.07.10 |
| 申请人 |
UNBARA LTD |
发明人 |
BIKIYUU AADESHIYAA UNBARA |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C14/22;C23C16/448;C30B25/02 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
