发明名称 PRODUCTION OF GAAS SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6321290(A) 申请公布日期 1988.01.28
申请号 JP19860164757 申请日期 1986.07.15
申请人 HITACHI METALS LTD 发明人 SATO MASAZUMI;YAMANAKA HIDEKI
分类号 C30B29/42;C30B27/02;H01L21/18;H01L21/208 主分类号 C30B29/42
代理机构 代理人
主权项
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