| 发明名称 |
STABLE SUSPENSIONS OF BORON, PHOSPHORUS, ANTIMONY AND ARSENIC DOPANTS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0130311(A3) |
申请公布日期 |
1987.08.05 |
| 申请号 |
EP19840105124 |
申请日期 |
1984.05.07 |
| 申请人 |
ALLIED CORPORATION |
发明人 |
GUPTA, ARUNAVA (NMI);WEST, GARY ALLEN;DONLAN, JEFFREY PETER |
| 分类号 |
C30B31/02;H01L21/22;H01L21/225;(IPC1-7):C01B21/064;C01B33/06;C01B35/02;B01J13/00 |
主分类号 |
C30B31/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
