发明名称 COATING APPARATUS FOR ELECTRONICS PART
摘要
申请公布号 JPS6293905(A) 申请公布日期 1987.04.30
申请号 JP19850234331 申请日期 1985.10.19
申请人 ROHM CO LTD 发明人 INOUE TANEICHI
分类号 H01L21/56;B05C3/10;B05C9/14;B05C19/00;H01C17/02 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
地址