发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS6292338(A) 申请公布日期 1987.04.27
申请号 JP19850232830 申请日期 1985.10.17
申请人 SHARP CORP 发明人 FUJII KATSUMASA;TANAKA SHINICHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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