发明名称 MEASURING METHOD FOR PLATED FILM THICKNESS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6284530(A) 申请公布日期 1987.04.18
申请号 JP19850224405 申请日期 1985.10.07
申请人 NEC CORP 发明人 KOBAYASHI TAKAAKI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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