发明名称 CARRIER FILM FOR DICING SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 AU559159(B2) 申请公布日期 1987.02.26
申请号 AU19840031200 申请日期 1984.07.26
申请人 STAUFFER CHEMICAL CO. 发明人 JOSEPH ANTHONY AURICHIO
分类号 B32B7/06;B28D5/00;B32B7/02;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/67;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):B28D7/04 主分类号 B32B7/06
代理机构 代理人
主权项
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