| 发明名称 |
PROCESS FOR THE PHOTOCHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF AROMATIC POLYMERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0183948(A3) |
申请公布日期 |
1986.11.05 |
| 申请号 |
EP19850112924 |
申请日期 |
1985.10.11 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT COMPANY |
发明人 |
LEYDEN, RICHARD N.;HALL, JAMES T. |
| 分类号 |
H01B5/14;B05D3/06;B05D7/24;C08G61/00;C08G61/02;H01B13/00;H01B17/60;H01B17/62;H01B19/00;H01L21/312;(IPC1-7):C23C14/12;C08F2/46;C04B41/48 |
主分类号 |
H01B5/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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