发明名称 FLOATING ZONE MELTING PROCESS
摘要
申请公布号 EP0054657(B1) 申请公布日期 1986.06.11
申请号 EP19810108512 申请日期 1981.10.19
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 MUHLBAUER, ALFRED, DR. PROF.
分类号 C30B13/00;C30B13/12;C30B29/06;H01L21/18;H01L21/208;(IPC1-7):C30B13/12 主分类号 C30B13/00
代理机构 代理人
主权项
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