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发明名称 SILICON-INSULATOR THIN-FILM STRUCTURES FOR OPTICAL MODULATORS AND METHODS OF MANUFACTURE
摘要
申请公布号 EP1779190(A2) 申请公布日期 2007.05.02
申请号 EP20050810130 申请日期 2005.08.10
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. 发明人 KEYSER, THOMAS;LARSEN, BRADLEY, J.;YUE, CHEISAN, J.
分类号 G02F1/25;G02B6/132;G02F1/01;G02F1/025;G02F1/225;H01L21/77 主分类号 G02F1/25
代理机构 代理人
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