| 发明名称 |
APPARATUS FOR POSITIONING A WORKPIECE IN A LOCALIZED VACUUM PROCESSING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2147122(A) |
申请公布日期 |
1985.05.01 |
| 申请号 |
GB19840023655 |
申请日期 |
1984.09.19 |
| 申请人 |
* VARIAN ASSOCIATES INC |
发明人 |
PAUL FRANCIS * PETRIC;MICHAEL STEPHEN * FOLEY;JOHN J * WAZ;ROBERT W * MILGATE |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/18;H01J37/28;H01J37/30;H01L21/027;H01L21/265;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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