发明名称 ANNEAL TREATMENT OF POLYSILICONE MEMBRANE
摘要
申请公布号 JPS6012129(A) 申请公布日期 1985.01.22
申请号 JP19840123552 申请日期 1984.06.15
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC 发明人 RAJIBU SHIYAA
分类号 B01J19/12;(IPC1-7):B01J19/12 主分类号 B01J19/12
代理机构 代理人
主权项
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