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发明名称 verfahren und anordnung zum steuern des katodenzerstaeubungsprozesses
摘要
申请公布号 DD216258(A1) 申请公布日期 1984.12.05
申请号 DD19830252489 申请日期 1983.06.29
申请人 VEB^ELEKTRONISCHE^BAUELEMENTE^"CARL^VON^OSSIETZKY"^TELTOW ^^,DD 发明人 MOHNKE,^ANDREAS ^^,DD;TISCHMEIER,^REINHARD ^^,DD;ROTH,^KLAUS ^^,DD
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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