发明名称 SLIDE BOAT LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS59205714(A) 申请公布日期 1984.11.21
申请号 JP19840081250 申请日期 1984.04.24
申请人 PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN NV 发明人 JIYOON CHIYADOUITSUKU BURAISU;JIYOON RINKAAN PEEJI
分类号 H01L21/208;C30B19/06 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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