Enhancing process of an area of an object in a scanning electron microscope.

摘要

Ein Verfahren, bei dem während einer Objektabrasterung die Korpuskularsonde mit einer gegebenen Schrittweite (Δx,Δy) über das Objekt geführt wird und bei dem die Wiedergabe eines Bildes auf einem Bildaufzeichnungs-Gerät ebenfalls mit einer gegebenen Schrittweite erfolgt, soll das wesentlich raschere und zuverlässigere Finden eines interessierenden Objektbereichs als nach dem Stand der Technik ermöglichen. Dabei soll zugleich ein interessierender Objektausschnitt sowohl vergrößert als auch in seiner Einbettung innerhalb des zu untersuchenden Objekts betrachtet werden können. Die Schrittweite (Δx,Δy) der Korpuskularsonde und die Schrittweite bei der Bildaufzeichnung werden so aneinander angepaßt, daß auf dem Bildaufzeichnungs-Gerät mindestens ein Objektbereich in stärkerer Vergrößerung (β) als andere Objektbereiche erscheint.