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发明名称
SPUTTERING ELECTRODE
摘要
申请公布号
JPH01259167(A)
申请公布日期
1989.10.16
申请号
JP19880085039
申请日期
1988.04.08
申请人
HITACHI LTD
发明人
KATAOKA HIROYUKI;ABE KATSUO;FURUSAWA KENJI
分类号
C23C14/36;C23C14/35
主分类号
C23C14/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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