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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5842936(B2) 申请公布日期 1983.09.22
申请号 JP19780148899 申请日期 1978.12.01
申请人 CHO ERU ESU AI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 NAKASUJI MAMORU;WADA KANJI
分类号 H01J37/153;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/308 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
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