| 发明名称 |
COMPOSITION FORMING THIN TANTALUM OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS57160915(A) |
申请公布日期 |
1982.10.04 |
| 申请号 |
JP19810044081 |
申请日期 |
1981.03.27 |
| 申请人 |
NIPPON SODA KK |
发明人 |
AOTA HIROSHI;MAEDA UMIO;SANO TSUYOSHI;SHIYOUJI HIROBUMI;IWAMORI MASANORI |
| 分类号 |
C03C17/25;B01J23/00;B01J23/20;C01G35/00;C23C18/12 |
主分类号 |
C03C17/25 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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