| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR IONENSTRAHLBEHANDLUNG VON HALBLEITERPLATTEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH632105(A5) |
申请公布日期 |
1982.09.15 |
| 申请号 |
CH19780000212 |
申请日期 |
1978.01.10 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
HANS-STEPHEN RUPPRECHT;ROBERT OTTO SCHWENKER |
| 分类号 |
H01L29/73;G01Q70/00;H01L21/265;H01L21/3115;H01L21/331;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/26;H01L21/42;H01L21/70 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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