| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR PHASE GROWING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5721930(A) |
申请公布日期 |
1982.02.04 |
| 申请号 |
JP19800096419 |
申请日期 |
1980.07.14 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
HARADA HIROJI;TOBINAGA MINETO;SUZUKI YOSHIMARE;KONDOU TAKASHI;ORISAKA SHINJI;YAMANO TAKESHI |
| 分类号 |
C30B25/16;B01J12/00;B01J19/12;C30B25/00;H01L21/20;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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