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发明名称 APPARATUS FOR FORMING SEMICONDUCTOR MATERIAL EPITAXIAL LAYER
摘要
申请公布号 JPS56105629(A) 申请公布日期 1981.08.22
申请号 JP19810003979 申请日期 1981.01.16
申请人 PHILIPS NV 发明人 YOOHEMU RESUBIN BIREMU
分类号 H01L21/208;C30B19/06;C30B19/10;H01S5/00 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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