发明名称
摘要
申请公布号 JPS569010(B2) 申请公布日期 1981.02.26
申请号 JP19730085976 申请日期 1973.07.31
申请人 发明人
分类号 G03C5/08;F21V8/00;G02B6/00;G02B6/02;G03B27/54;H01L21/02;H01L21/027 主分类号 G03C5/08
代理机构 代理人
主权项
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