发明名称
摘要
申请公布号 JPS565311(Y2) 申请公布日期 1981.02.05
申请号 JP19730132220U 申请日期 1973.11.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;H01L21/465;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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