发明名称 Fabrication de semi-conducteurs
摘要
申请公布号 FR1458152(A) 申请公布日期 1966.03.04
申请号 FR19650013450 申请日期 1965.04.15
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人
分类号 C23C8/00;H01L21/225;H01L21/316;H01L29/00 主分类号 C23C8/00
代理机构 代理人
主权项
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