发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5521107(A) 申请公布日期 1980.02.15
申请号 JP19780093491 申请日期 1978.07.31
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 TANIDA TOSHIHIRO
分类号 H01L23/522;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/768;H01L29/40;H01L29/43 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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