发明名称 FORMATION OF ELECTRODE OR WIRING LAYER ON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS554970(A) 申请公布日期 1980.01.14
申请号 JP19780077799 申请日期 1978.06.27
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 SAKURAI TETSUTADA;SERIKAWA TADASHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/302 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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