发明名称 PRE-HEATING BLOCK
摘要
申请公布号 JPH10144812(A) 申请公布日期 1998.05.29
申请号 JP19960293638 申请日期 1996.11.06
申请人 SONY CORP 发明人 HAMAYA TAKAHIRO
分类号 H01L21/50;H01L23/00;(IPC1-7):H01L23/00 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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