| 发明名称 |
MOVEMENT AND TEMPERATURE MONITOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54126580(A) |
申请公布日期 |
1979.10.01 |
| 申请号 |
JP19790021501 |
申请日期 |
1979.02.27 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES |
发明人 |
POORU AANESUTO RATSUSHIYAA |
| 分类号 |
G01K1/14;G01K7/02;G01K7/08;G01K13/00;H01L21/203;H01L21/26 |
主分类号 |
G01K1/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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