发明名称 ELECTRON BEAM LIGHTTEXPOSURE UNIT
摘要
申请公布号 JPS5495188(A) 申请公布日期 1979.07.27
申请号 JP19780002417 申请日期 1978.01.13
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HORI KOUHEI;KUDOU AKIRA
分类号 H01L21/027;H01L21/26 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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