发明名称 OPTICAL AND ELECTRONIC DEVICE FOR TESTING STRUCTURES
摘要
申请公布号 GB1545631(A) 申请公布日期 1979.05.10
申请号 GB19760007618 申请日期 1976.02.26
申请人 ZEISS JENA VEB C 发明人
分类号 G01B11/00;G02B27/46;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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