发明名称
摘要
申请公布号 JPS53143571(U) 申请公布日期 1978.11.13
申请号 JP19770049421U 申请日期 1977.04.19
申请人 发明人
分类号 G01L1/16;G01L5/00;H01L41/00;H01L41/04 主分类号 G01L1/16
代理机构 代理人
主权项
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