发明名称
摘要
申请公布号 JPS5337705(B2) 申请公布日期 1978.10.11
申请号 JP19760093246 申请日期 1976.08.06
申请人 发明人
分类号 B05C11/08;H01L21/027;H01L21/302 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
地址