发明名称 ELECTRON BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 GB1514059(A) 申请公布日期 1978.06.14
申请号 GB19760002249 申请日期 1976.01.21
申请人 IBM CORP 发明人
分类号 G01N23/225;G01T1/29;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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