发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS532073(A) 申请公布日期 1978.01.10
申请号 JP19760076076 申请日期 1976.06.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 AKATSUKA TSUTOMU
分类号 H01L21/322;H01L21/302 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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