发明名称
摘要
申请公布号 JPS52166460(U) 申请公布日期 1977.12.16
申请号 JP19760075082U 申请日期 1976.06.11
申请人 发明人
分类号 B23K20/10;H01L21/60;H01L21/607;(IPC1-7):H01L21/607;B23K21/02 主分类号 B23K20/10
代理机构 代理人
主权项
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