| 发明名称 |
METHOD OF ADJUSTING DIMENSIONS OF LINES ON PHOTO MASK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52136001(A) |
申请公布日期 |
1977.11.14 |
| 申请号 |
JP19760053067 |
申请日期 |
1976.05.10 |
| 申请人 |
DAINIPPON PRINTING CO LTD |
发明人 |
TAKEUCHI SATOSHI |
| 分类号 |
G03F1/00;G03F1/08;G03F9/00;H01L21/00;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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