| 发明名称 |
EVAPORATION EXPOSURE METHOD OF AMORPHOUSSTYPE SEMIICONDUCTOR LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52120680(A) |
申请公布日期 |
1977.10.11 |
| 申请号 |
JP19760036074 |
申请日期 |
1976.04.02 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
YOSHIDA OKIO |
| 分类号 |
H01L45/00;H01L21/363;H01L21/365 |
主分类号 |
H01L45/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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