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发明名称
摘要
申请公布号 JP2697028(B2) 申请公布日期 1998.01.14
申请号 JP19880297323 申请日期 1988.11.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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