发明名称 MICROWAVE PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03283425(A) 申请公布日期 1991.12.13
申请号 JP19900080838 申请日期 1990.03.30
申请人 NEW JAPAN RADIO CO LTD 发明人 TAKAMURA FUMIO
分类号 H01L21/205;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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