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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Vakuumaufdampfung monokristalliner Schichten
摘要
申请公布号 DE1916818(A1) 申请公布日期 1970.03.12
申请号 DE19691916818 申请日期 1969.03.28
申请人 EUROPAEISCHE ATOMGEMEINSCHAFT EURATOM 发明人 VANDERSCHUEREN,EMILE
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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