发明名称 Light source emitting a continuous spectrum in the extreme ultra-violet range
摘要
申请公布号 US3317786(A) 申请公布日期 1967.05.02
申请号 US19620189447 申请日期 1962.04.23
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE 发明人 ROMAND JACQUES;VODAR BORIS;BALLOFFET GERMAINE
分类号 G01J3/10;H01J7/44;H01J17/00;H01J35/22;H01T1/00;H05H1/48 主分类号 G01J3/10
代理机构 代理人
主权项
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